离子风机的静电吸附

　　在LCD行业，玻璃基板的变大，吸引电荷的能力也增强。由于基板的尺寸大，任何污染都可能导致优率降低。与其它的污染控制行业一样，LCD行业也一直在寻找能解决ESD问题的新型材料。在洁净室使用的材料也更可能地使用防静电离子风机，在棉签和抹布上也可以尝试发现新材料来代替传统材料。

　　在洁净室中ESD控制的最大难题是人员在洁净室中的走动。因为人穿着大量的聚酯类织物，会产生大量的电荷。在洁净室中去除这种电荷唯一的办法是接地。

　　在过去的五年里，人们发现用碳素纤维和织物混合制成的工衣系统能提供适用ISO5(Class100)级的洁净室要求。

　　此类工衣的各个部位都具有相同的电导率，并且从头罩到脚底都有导电连接。在洁净室中工作的人员穿上此类衣服行走时可以通过导电的鞋底接地而不用通过接地线进行接地，这样就不受接地线的长度限制。

　　此类工衣的出现是对产品的高要求的结果，有助于降低洁净室中由于ESD问题而引起的低收率和高坏品率。

　　对ESD离子风机控制没有便宜快捷的修补方法，关键是对ESD的控制，比如悬挂层流离子风机，或是在需要控制ESD的材料旁安装离子风机。随着芯片(IC)尺寸的减少，对ESD越发敏感。现在，对ESD的控制已不仅仅局限于对工作网络的保护，还需对晶片和生产晶片的人员进行控制。很多高标准要求的公司正在这样对ESD进行控制。

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