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评估无尘抹布的更精准的测试方法

蚂蚁防静电 / 2015-01-17

 

    无尘用户普遍通过肉眼来辨别无尘布的材质、或者用水来验一下吸收率、洁净度来评估无尘抹布的好坏。不过在半导体行业的洁净室中对无尘擦拭布尘粒、离子、ESD等有很高的要求。小编为此提供了一些评估无尘抹布的更精准的测试方法。

 

     无尘布需进行严格测试以达到性能要求和污染控制标准,一般无尘布需进行以下测试:

 

     1.测量静电压:不摩擦,拆开包装放置一段时间后,直接测量表面的静电压

  

    2. 测量摩擦电压:摩擦无尘布,然后马上测量表面的静电压

  

    3. 测量静电衰减时间:把无尘布放置在CPM上,充上5KV或者1KV的电压,然后再用接电线接触无尘布,看衰减到500V或者100V需要多长时间。

  

    4. 测量表面两点间电阻:把无尘布平摊在一块绝缘板上,上面放置2个5磅重的电极(距离约30cm),测量两端的电阻。

  

    5. 测量表面电阻:把无尘布平摊在一块绝缘板上,用表面电阻测试仪压在上面,测量表面电阻。

 

                                    

 

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