衡量静电消除器性能优劣的主要指标是：消静电速度、离子平衡度（最终残余电压）和整机稳定性。

　　根据 ESD协会的测试标准ANSI/ESD STM3.1-2000，静电消除速度是指静电从±1000V被中和到±100V所需要的时间，速度越快表示性能越好；在规定时间内（通常为20S）静电被中和后残留的电压值即离子平衡度，离子平衡度以接近零为性能优越。

　　对台式离子风机，测试点为：正前方30cm；对离子吹尘枪，测试点为：正前方15cm；对悬挂式离子风机, 测试点为：正下方45cm，使用仪器：ME-268A-1T或CPM374 CHARGED PLATE  MONITOR（静电消除器检测分析仪）；整机性能指标的长时间稳定性也是越来越被客户和使用者重视，如何保证静电消除器在经历了长时间的工作后还能保证良好的消电速度和离子平衡度，这是每个制造者必须考虑的问题和研究的课题。